Onto Innovation und LPKF treiben gemeinsam die Massenproduktion von Glassubstraten für Halbleiter voran

Onto Innovation und LPKF treiben gemeinsam die Massenproduktion von Glassubstraten für Halbleiter voran

• LPKF schließt sich dem Packaging Applications Center of Excellence (PACE) von Onto Innovation an
• Die Kooperationspartner repräsentieren essenzielle Prozessschritte für das Panel-Level-Packaging entlang der Lieferkette
• Partnerschaft beschleunigt Technologie-Roadmap und verkürzt Time-to-Market für die Produktion von Glassubstraten

Corporate News - GARBSEN, 2. APRIL 2025

Die LPKF Laser & Electronics SE ist 2024 dem Packaging Applications Center of Excellence (PACE) von Onto Innovation beigetreten. Ziel von PACE ist es, eine nahtlose Prozessintegration und eine sichere Lieferkette zu entwickeln, um die Massenproduktion von Microchip-Packages auf der Basis von Glassubstraten zu beschleunigen. Diese sind in der Halbleiterindustrie mittlerweile unverzichtbar, um den Anforderungen anspruchsvoller Endanwendungen wie High-Performance Computing (HPC), Künstliche Intelligenz (KI), Cloud Computing und Machine/Deep Learning gerecht zu werden.Die LIDE-Technologie von LPKF ermöglicht die mikrotechnische Herstellung von makellosen Durchkontaktierungen in Glas (TGVs), die für hochpräzise Glassubstrate verwendet werden. Das Firefly®-System von Onto Innovation bietet eine automatisierte Inspektions- und Messtechnik für moderne IC-Substrate und das Panel Level Packaging.

In einem weiteren Schritt bündeln Onto und LPKF ihre Stärken, um die Prozess- und Lieferkette für die hochvolumige Herstellung von modernen Glassubstraten und Glas-Interposern vorzubereiten. Dafür wird im zweiten Quartal dieses Jahres das State-of-the-Art Firefly-System von Onto im Reinraum von Vitrion, dem LPKF-Kompetenzzentrum für Glasverarbeitung in Garbsen, installiert. Diese Zusammenarbeit ermöglicht eine Qualitätskontrolle von Glassubstraten mit hohem Durchsatz und unterstützt damit die Entwicklung der Industrie hin zu einer effizienten und ertragreichen Produktion.

„Unsere Zusammenarbeit im Rahmen von PACE hat bereits zu hervorragenden Ergebnissen geführt“, sagt Dr. Roman Ostholt, Geschäftsführer LIDE bei LPKF. „Glas bietet das Potenzial, die Kosten für Interposer drastisch zu senken, ohne die Chipqualität zu beeinträchtigen. Die Installation des Firefly-Systems von Onto markiert den nächsten Schritt in dieser Partnerschaft und stärkt unser gemeinsames Engagement für die Bereitstellung einer hochvolumigen Fertigungslösung für Advanced-Packaging-Anwendungen.“

„Wir freuen uns, mit Branchenführern wie LPKF bei Innovationen im Bereich Glaspanels zusammenzuarbeiten“, sagt Mike Rosa, Chief Marketing Officer und Senior Vice President, Strategy bei Onto Innovation. „Die Integration unseres Firefly-Systems für die TGV-Prozesssteuerung bei Vitrion ist ein wichtiger Meilenstein bei der Verbesserung der Qualität und Zuverlässigkeit von Glassubstraten und Interposern. Gemeinsam wollen wir Advanced-Packaging-Anwendungen vorantreiben.“

ÜBER ONTO INNOVATION

Onto Innovation ist ein führendes Unternehmen im Bereich der Prozesskontrolle, das seine globale Präsenz mit einem breiten Portfolio an Spitzentechnologien kombiniert. Dazu gehören die Qualität von unstrukturierten Wafern, 3D-Messtechnik, die Chipmerkmale von Transistoren im Nanometerbereich bis hin zu großen Chipverbindungen umfasst, Makrodefektprüfung von Wafern und Gehäusen, Metallverbindungen, Fabrikanalysen und Lithografie für fortschrittliche Halbleitergehäuse. Unser breit gefächertes Angebot für die gesamte Halbleiter-Wertschöpfungskette in Verbindung mit unserem vernetzten Denkansatz bietet eine einzigartige Perspektive, um unseren Kunden bei der Lösung ihrer schwierigsten Probleme in Bezug auf Ertrag, Geräteleistung, Qualität und Zuverlässigkeit zu helfen. Onto Innovation ist bestrebt, den Fortschritt der Kunden zu fördern, indem wir sie intelligenter, schneller und effizienter machen. Onto Innovation hat seinen Hauptsitz und seine Produktion in den USA und unterstützt seine Kunden mit einer weltweiten Vertriebs- und Serviceorganisation. Weitere Informationen finden Sie unter www.ontoinnovation.com.

ÜBER LPKF

Als HighTech-Maschinenbauer entwickelt LPKF hochpräzise, skalierbare Fertigungsverfahren, die in Wachstumsmärkten wie Halbleiter & Elektronik, Life Science & Medizintechnik, Smart Mobility sowie Forschung & Entwicklung eingesetzt werden. Das 1976 gegründete Unternehmen hat seinen Hauptsitz in Garbsen bei Hannover und ist über Tochtergesellschaften und Vertretungen weltweit aktiv. LPKF beschäftigt mehr als 750 Mitarbeiter und strebt unermüdlich danach, den technologischen Fortschritt mit innovativen Lösungen voranzutreiben und eine nachhaltige, positive Veränderung in der Welt zu bewirken. Die Aktien der LPKF Laser & Electronics SE werden im SDAX der Deutschen Börse gehandelt (ISIN 0006450000).

Kontakt: